Les fours à atmosphère inerte, également appelés fours anaérobies, sont conçus pour le traitement thermique utilisant des gaz non oxydants tels que l'azote dans un environnement hermétique. Ils conviennent au traitement thermique dans une atmosphère à faible concentration en oxygène.
Description
La série de fours à atmosphère inerte est utilisée dans la fabrication de semi-conducteurs pour la cuisson de prétraitement des plaquettes de silicium, de l'arséniure de gallium, du niobate de lithium, du verre avant le revêtement PR, la cuisson de film dur après le revêtement PR et la cuisson à haute température après développement ; Il convient également aux départements de production et de recherche scientifique, tels que les écrans électroniques à cristaux liquides, LCD, CMOS, IS et les laboratoires ; il peut également être utilisé pour le séchage, le traitement thermique, le vieillissement et d'autres tests à haute température d'articles non volatils, ininflammables et non explosifs.
Paramètres principaux
►Paramètres techniques
Capacité : personnalisée selon les produits
Plage de température : ambiante + 50 °C ~ 250 °C
Teneur en oxygène : ≤ 50 ppm
Uniformité de la température : ±2,5 %
Taux de montée en puissance : contrôlable
Entrée d'azote : Φ8
Débit d'azote : 0-240L/min * 2 canaux
►Structure
. Four intérieur : Fabriqué en acier inoxydable et soudé sans soudure au gaz argon.
. Hermétiquement scellé : la chambre est scellée pour réduire les niveaux d’oxygène.
. Structure d’admission d’air : Permet aux gaz non oxydants de remplir la chambre.
. Analyseur d'O2 : ajustez avec précision les niveaux d'oxygène entre 0,5 et 21 %
► Système de contrôle de la température
Contrôleur de température Intelligent JAPAN RKC, programmes et réglage de la valeur fixe, réglage automatique AT, correction du décalage et rétention de mise hors tension.
► Convection à air forcé
Le conduit d'air breveté dans le système de circulation d'air chaud peut ajuster automatiquement l'uniformité de la température.
Caractéristiques des fours anaérobies (inertes)
► Studio en acier inoxydable hermétiquement fermé pour empêcher la pénétration de l'atmosphère extérieure
► Utiliser un gaz inerte d'azote pour le traitement thermique anaérobie
► Un débitmètre et un manomètre sont équipés
► Dispositifs de sécurité multi-protections
Possibilités
► Automate programmable PLC+7"
► Alarme lumineuse clignotante tricolore
► Limiteur de surchauffe
► Dispositifs de sécurité manuels
Pourquoi choisir les fours à atmosphère inerte ?
De nos jours, les matériaux de câblage des circuits sont passés de l'aluminium au cuivre, avec une résistivité plus faible. Par conséquent, lors d’un traitement thermique dans une étuve de séchage normale, les pièces en cuivre peuvent s’oxyder, provoquant des défauts. De plus, un vieillissement à 250 °C est également effectué pour vérifier si les données écrites sur la mémoire flash ont été supprimées en raison de l'électromigration et si les parties bosselées sont oxydées, de sorte que la teneur en oxygène doit être réduite à <100 ppm. Ce four anaérobie a été développé pour répondre à ces exigences.
Application
Les fours à atmosphère inerte sont principalement utilisés pour le durcissement de la colle BPO/colle PI/colle BCB, IC (wafer, CMOS, Bumping, TSV, MENS), FPD, composants électroniques de haute précision et autres matériaux dans un environnement à faible teneur en oxygène pour les tests de séchage et de vieillissement. .
